宜特搶進 3D IC檢測

     電子產品驗證服務商宜特(3289)與子公司上海宜碩,

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,獲選進入IEEE等級、半導體故障分析領域的集成電路失效分析論壇IPFA 2013發表研究成果。宜特此次將以IC質量為主軸,

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,分別探討「3DIC微凸塊失效觀察」、「IC電磁輻射消除」、「EOS 脈衝波過電保護」等三方面的檢測能力,

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,並將屆此搶進3D IC檢測市場。
     在3DIC 方面,

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,宜特研究出兩種克服的方式,

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,其一是利用研磨技術將3D IC微凸塊(u-bump)失效區域定位,

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,並搭配聚焦離子束顯微鏡(FIB),

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,將其失效微凸塊切削進行斷面觀察;其二是擴大可觀察的微凸塊範圍,

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,從100um提升至3000um,

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,此兩項技術亦可使用在3D IC的直通矽晶穿孔(TSV)結構觀察。
     在IC電磁輻射消除的研究上,宜特藉由傳統與專利研發的新型FIB搭配,將任意電容值的電容放置於IC晶片上,並與IC內部的訊號節點作連結。藉此方法,客戶不需重新投片,即可找到電磁輻射源頭並加以消除,提供IC設計者一種CP值極高的IC EMI解決方案。
     在EOS 脈衝波過電保護部份,宜特藉由脈衝波模擬不同製程的IC上電,從其產生的過度電性應力(EOS)機制進行研究,在這當中,發現EOS耐受能力與脈衝時間存在「線性關係」,同時也發現IC製程本身閘氧崩潰與電壓有關。從此測試,亦可提供客戶簡易方式,來對元件進行抗受力測試,亦可對於元件過電保護,提供一個有效參考指標。,

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